什么是SOI?

SOI指的是绝缘体硅片。

通常,集成电路上的器件都通过PN结进行隔离。相反,SOI使用一层二氧化硅层(SiO2)来隔离器件。SOI技术可防止由传统pn结隔离形成的垂直和水平寄生器单元引发IC故障及毁损。

图1:结构剖面图
图1:结构剖面图
图2:pn结隔离剖面图
图2:pn结隔离剖面图

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